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PARKER: 高品质减压阀 助力微电子制造

集成电路制造的过程离不开各类不同纯度、不同压力、性质各异的气体参与。人们通过各种各样的减压阀来控制这些气体压力,如果说这些减压阀是气体控制零件中的皇冠的话,那么派克汉尼汾旗下的SQ2MICRO/SMSQ2MICRO系列超高纯减压阀就是这个皇冠上的明珠。

PARKER: 高品质减压阀 助力微电子制造


SQ2MICRO/SMSQ2MICRO系列减压阀从诞生至今,始终致力于立足行业应用的前沿领域。

PARKER: 高品质减压阀 助力微电子制造


● 它针对超高纯应用而设计,先进的性能和规格使其非常适用于关键的半导体制造设备。

MFC是影响集成电路制造的可重复性及良率的重要组件。SQ2MICRO/SMSQ2MICRO系列减压阀能提供非常精准和可靠的压力控制,让MFC(质量流量计)的表现更加出色。

除此之外,它还在气密完整性和颗粒物生成方面表现出色,这些对于减少半导体制程的污染至关重要。


那么,为什么SQ2MICRO/SMSQ2MICRO系列减压阀有如此好的表现呢?

答案藏在细节之中:

首先,减压阀本体材料采用超过SEMI F20 标准要求的VERICLEANTM 316L不锈钢,阀门内部为顺滑流道结构且经过全电抛光处理。同时,阀门使用C-22哈氏合金作为膜片和阀芯的材料,联动式阀芯设计使减压阀内部没有螺纹和弹簧(螺纹和弹簧是阀门内部颗粒物生成的主要原因)。如此一来,阀门在具备强大抗腐蚀能力的同时,颗粒物生成的可能性也非常低。

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其次,联动式结构设计使得阀芯具备自中心功能,在不同气流形态下能保持在中心位置,结合更薄更灵敏的哈氏合金膜片,可大幅缩短减压阀的响应时间,从而提高出口压力的稳定性。

最后,该系列减压阀阀门体积经过优化,安装空间更小,可有效缩小集成电路制造设备的体积,增加洁净厂房的利用率。与此同时,减少阀门内部空间,在一定程度上缩短设备吹扫和抽真空时长,提高工艺流程效率。


此外,派克汉尼汾的制造和测试流程也为SQ2MICRO/SMSQ2MICRO系列减压阀的高品质保驾护航:

在100级的洁净室中完成组装、测试、调试以及包装

阀门通过氦检漏测试,达到SEMI行业标准

阀门经过出口压力调试


SQ2MICRO/SMSQ2MICRO系列减压阀还能提供众多选项,以符合不同应用需求:

不同的接口方式,包括Faceseal/Surface Mount

不同的流通能力, Cv值包括 0.06和0.15

不同材质的核心部件,阀芯为 Hastelloy C-22,阀座为VESPEL,以应对更严苛的应用

如果您是集成电路制造设备的设计者,越早选用SQ2MICRO/SMSQ2MICRO系列减压阀,将越早获得成功。


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